Guía de operación estándar para el medidor de vacío Pirani de magnetrón invertido TMPG400
2026-04-20
La monitorización continua, estable y precisa del vacío a lo largo de todo el proceso es fundamental para la calidad y la seguridad del proceso en sistemas de vacío de rango medio a alto, como equipos de recubrimiento de semiconductores, cámaras de vacío, laboratorios de investigación científica y dispositivos de nuevas energías.
El manómetro de vacío combinado TaiXING TMPG400, que integra sensores de magnetrón invertido y Pirani, cuenta con un rango de medición ultralargo, de 5×10⁻⁹ mbar hasta la presión atmosférica, una estructura libre de filamentos, fácil integración y mantenimiento sencillo. Se ha convertido en la solución principal para la monitorización de presiones en alto vacío, la detección de la presión de fondo en sistemas de evaporación y pulverización catódica, así como para la medición y el control en el rango de vacío medio-alto.
Este documento describe detalladamente los procedimientos de operación estandarizados completos del TMPG400, abarcando la instalación, el cableado, el encendido, las mediciones y el mantenimiento rutinario.
I. Ventajas principales del producto (requisitos previos de aplicación)
- Medición combinada: Sensores integrados de Pirani y de cátodo frío de magnetrón invertido, que permiten la medición en todo el rango con un solo medidor.
- Sin riesgo de quemadura del filamento: Elimina los problemas de quemadura del filamento en los medidores convencionales, mejorando considerablemente la confiabilidad operativa.
- Excelente rendimiento de encendido: Encendido de brillo rápido en el rango de alto vacío con lecturas estables.
- Estructura compacta: Salida analógica logarítmica para una integración sencilla en el sistema.
- Limpieza fácil y alta resistencia a la temperatura: Soporta horneado a 150 °C, adecuado para condiciones de vacío severas.
- Reemplazo directo: Totalmente intercambiable con el INFICON MPG400.
II. Procedimientos estándar de instalación
Selección del modelo y confirmación de la interfaz
Especificaciones comunes: DN25 ISO-KF (T351-010), DN40 ISO-KF (T351-011)
Sellado: juntas de FPM; asegúrese de que las juntas estén limpias, sin daños y libres de contaminación por aceite.
Posición y orientación de la instalación
Puede instalarse en cualquier ángulo. Manténgase alejado de vibraciones intensas, campos magnéticos fuertes y fuentes de alta temperatura.
Evite la exposición directa de los sensores a niebla de aceite, polvo y gases corrosivos; instale filtros si es necesario.
Instalación de sellado de brida
Limpie las superficies de la brida y los soportes centrales de manera uniforme.
Apriete uniformemente las abrazaderas de liberación rápida para garantizar un sellado hermético.
Temperatura máxima de horneado: 150 °C (excluyendo los componentes electrónicos y el blindaje magnético).
III. Especificaciones de cableado eléctrico y suministro de energía
Requisitos de la fuente de alimentación
Entrada del medidor: CC 15–30 V; ondulación ≤1 V p-p; consumo de energía ≤2 W
Longitud máxima del cable: 50 m (cable apantallado de 8 × 0,14 mm²)
Salida de señal
Salida analógica logarítmica de 0–10,5 V: 0,6 V por orden de magnitud
Rango de medición correspondiente: 1,82 V–8,6 V
Conector y puesta a tierra
Conector FCC de 8 pines con inserción segura.
Cable apantallado conectado a tierra en un solo extremo para reducir las interferencias electromagnéticas.
IV. Encendido, precalentamiento y cambio automático de rango
Autodiagnóstico al encender
LED verde encendido: El alto voltaje funciona normalmente.
Sin fuente de alimentación: Salida < 0,5 V; Fallo del filamento de Pirani: Salida > 9,5 V
Conmutación automática de rango (no requiere operación manual)
Presión atmosférica ~ 10⁻⁶ mbar: modo Pirani, tiempo de respuesta < 10 ms
< 10⁻⁶ mbar: Cambia automáticamente al modo de cátodo frío de magnetrón invertido
10⁻⁸ mbar: Tiempo de respuesta aproximado de 1000 ms con lecturas estables
Precisión y repetibilidad
1×10⁻⁸–100 mbar: Precisión ±30%; repetibilidad ±5% (gas N₂)
V. Procedimientos Operativos Estándar para Condiciones Típicas
- Realice una detección completa de fugas del sistema y cierre las válvulas de ventilación.
- Ponga en marcha la bomba de vacío y encienda el TMPG400 para el precalentamiento al mismo tiempo.
- La presión disminuye gradualmente desde la presión atmosférica, con salida en tiempo real del sensor Pirani.
- Se cambia automáticamente al modo de cátodo frío al entrar en el rango de alto vacío, con indicación LED normal.
- Mantener una lectura de presión estable después de alcanzar el vacío objetivo para los procesos, las pruebas de fugas y el recubrimiento.
- Después de la operación: ventilar primero con gas inerte y, a continuación, apagar la alimentación para prolongar la vida útil del sensor.
VI. Calibración y mantenimiento
Instrucciones de calibración
Precalibrado antes de la entrega; no requiere ajustes frecuentes para el uso rutinario.
El rango de Pirani es ajustable tras una contaminación o una deriva; el rango de cátodo frío no es ajustable.
Limpieza y mantenimiento
Estructura desmontable para facilitar la limpieza; limpie regularmente las bridas y las áreas de detección.
Evite la exposición a largo plazo de los sensores al vapor de agua y al vapor de aceite.
Límites de presión y ambientales
Presión máxima permitida: ≤10 bar (solo gas inerte)
Temperatura ambiente de funcionamiento: +5℃ ~ +55℃
VII. Escenarios de aplicación y ventajas
- Monitoreo de presión en alto vacío y protección por interbloqueo
- Detección de presión de fondo para equipos de evaporación, pulverización catódica y PVD/CVD
- Medición y control de vacío medio y alto en semiconductores, energía fotovoltaica, laboratorios, hornos de vacío y detectores de fugas
- Sustituye a los manómetros de vacío independientes para simplificar el cableado, reducir las fallas y disminuir la carga de mantenimiento.
Conclusión
Al adoptar una estructura integrada de magnetrón invertido y Pirani, el TMPG400 permite realizar mediciones continuas con un solo botón, desde la presión atmosférica hasta el ultraalto vacío. Gracias a su instalación sencilla, su funcionamiento estable y su mantenimiento conveniente, sustituye perfectamente a los instrumentos importados equivalentes y constituye una opción rentable para la modernización del equipo de vacío y para la sustitución nacional.
Seguir los procedimientos estándar mencionados anteriormente garantiza un funcionamiento preciso, estable y confiable a largo plazo de todos los sistemas de vacío.
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